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晶圓上蠟機

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半自動上蠟機

型號：DL-SL305A/SL360A

半自動上蠟機采用固態(tài)蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟；精密氣壓控制，可精準控制蠟厚，貼片后的TTV≤5um。

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半自動上蠟機

設備優(yōu)勢

◎ 采用固態(tài)蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟。

◎ 加熱冷卻盤內部采用精密加熱和自動冷卻系統(tǒng)，可精確控制盤面溫度。

◎ 采用獨立氣缸壓片方式，精密氣壓控制，可精準控制蠟厚。

◎ 貼片后的TTV≤5um。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱		單位	DL-SL305A	DL-SL360A
晶圓尺寸		in	?4'' (?2''/?4'')	?6'' (?4''/?6'')
陶瓷盤尺寸		mm	?305x15	?360x15
噴蠟量		g	0.1~0.35	0.1~0.35
加熱盤溫控范圍		℃	60~180	60~180
上蠟厚度TTV		um	≤5	≤5
噴蠟重復定位精度		mm	±0.05	±0.05
噴蠟精度		g	±0.02	±0.02
加壓氣缸		Kg	500~1000	500~1000
設備尺寸（W x D x H）		mm	1350x1350x1700	1550x1550x1900
設備重量		Kg	約800	約1000

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晶圓上蠟機根據(jù)客戶不同的需求進行定制，滿足不同客戶的需求，擁有專業(yè)技術團隊，設備精度高，使用壽命高，負責上門安裝調試及培訓

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DL-SL305A/SL360A

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